Терминът „пречистване“ има дълга история на китайски, като първоначално означава „да направя чист и чист“ и може да се отнася в общи линии до всички процеси и технологии за отстраняване на примеси и елиминиране на замърсяването. Съответстващите английски термини включват „пречистване“ (подчертаващо чистота) и „чист“ (подчертаващо чистота). Следователно английският израз за инженеринг на чисти помещения включва "пречиствателно инженерство", "чисто инженерство" или "технология за чисти стаи" и др. Това широко значение определя, че инженерството за чисти помещения има различни конотации в различни дисциплини.
Модерното инженерство за чисти помещения, с технология за чисти помещения в основата си, възниква през 50-те години на миналия век. По време на Корейската война американската армия открива, че много електронни инструменти често се повреждат поради проникване на прах, което стимулира развитието на технологията за пречистване на въздуха, особено изследванията и прилагането на високо-ефективни филтри за въздух (HEPA). През 1961 г. Уилис Уитфийлд от Sandia National Laboratories предлага схема за организиране на чист въздушен поток с "ламинарен поток" (сега официално наричан "еднопосочен поток"), което позволява на чистите стаи да постигнат безпрецедентни нива на чистота. През същата година военновъздушните сили на САЩ пуснаха първия в света стандарт за чисти помещения, а през 1963 г. беше публикуван Федералният стандарт на САЩ FED-STD-209, отбелязвайки първоначалното формиране на технологичната система за чисти помещения. Впоследствие, с бързото развитие на индустрии като интегрални схеми и биомедицина, инженерната технология за чисти помещения непрекъснато се обновява и развива.
В Китай „Кодексът за проектиране на чисти стаи“ (GBJ 73-84) беше обнародван през 1984 г., а „Кодексът за изграждане и приемане на чисти стаи“ (JGJ 71-90) беше обнародван през 1990 г. След няколко ревизии беше формирана национална стандартна система с GB 50073-2013 „Кодекс за проектиране на чисти стаи“ в основата си. В международен план серията от стандарти ISO 14644, съставена от техническия комитет ISO/TC209, са общите насоки за чисти стаи и свързани с тях контролирани среди. моята страна е приела тези стандарти и ги е внедрила като серия GB/T 25915.